N HAC_오븐 -고온 반도체용

Air circulation Chamber furnace with Clean room technology

N120/65 HAC - N500 / 65 HAC  

고온에서 열처리를 해야 함에도 불구하고 반도체 생산용 제조, 태양열 전지 생산분야 등 특정 

열처리 공정에서는 전기로 내에서 발생되어질 수 있는 분진 미립자를 최소한으로 줄이는 것이 

매우 중요하다.

높은 분진미립자 방지 효과를 갖기위하여 생산되어지는 고온 650 °C 까지사용이 되어지는 이 

전기로는 스테인레스 소재를 이용 하여 내장재를 만들었으며 내부를 정밀 용접을 하여 높은 승온 

속도와 6K 이하의 균일도를 가지도록 디자인되어졌다.  

발열체는 4 면 가열방식 (양면, 바닥, 상단면) 이며 내화 세라믹 튜브에 장착이 되어 있는

발열체는 순환팬 뒷면에 위치하고 있다. (발열체는 교체가 용이하다.)

최대 3 장까지의 선반장착 가능. (1 ea std.)  

** Optional accessories 

1. Cooling system with fan for fast heating 

2. Automatic air inlet or exhaust air vents for better ventilation and faster cooling of the furnace

3. Pneumatic lift door 

4. Atmosphere boxes for protective gas operation 

5. Additional shelves

6. Variable frequency control of air circulation velocity for sensitive parts

7. charging aids, roller conveyors 

 - 250 ~650℃ 범위에서 6 K 의 온도 균일도( DIN 17052-1)  

 - 온도균일도 : 6K @ 250°C - 650°C  - 관련 기준법 : DIN 17052-1

 - 강철구조의 튼튼한 산업용 프레임 

 - 특수 기밀유지 적용된 스테인레스 소재의 내장재

 - 부식방지 처리된 금속판을 이용하여 친환경적이며, 수분에 강하다. 

 - RAL 9006 (티타늄) 소재를 이용 한 외장재 

 - OPTION : Protective gases 

1. 태양열 전지 

2. 반도체 생산공정 

3. 제약 등