LCC-크린공정용오븐

HEPA 필터를 이용하여 크린 공정 열처리를 하는 목적으로 사용이 되어지며, 크린룸의 높은 

유지비용을 줄이기 위하여 3 대까지 적층하여 사용이 가능함으로써 설치 공간 비용을 최소화할 수 있다. 

고온에서 크린공정용에 요구되는 응용 분야에서 사용을 하는 목적으로 사용이 되어진다. 

초기 오염이 기본적으로 발생이 되어질 수 있는 공정에서 HEPA Filter를 이용하여 열처리를 하는 

목적으로 사용되어진다. (N2 Atmosphere option) 

- 최대 승온 온도: 350°C 

- 공정 과정 중에 Class 100 의 Clean 공정 조건을 만족하기 위하여 100% 

    HEPA Filter 로 순환 

- 마이크로프로세스콘트롤기능  

- 스테인레스 스틸 인테리어

- 적층식 구조로 사용이 가능  

- 내부 압력게이지 

- 프로그래머블 door lock 기능

- UL and G-UL listed

■ OPTION

- PC interface for remote input (RS 485/422/232) 

- Cleaning and trip bagging in a clean room 

- End of cycle and high limit audible and visual alarms

- Real time clock 

- Process control interlock system 

- Silicon free construction 

- Round and Strip Chart recorder

- Three color process stack light 

- Teflon Shelf supports 

- Extra shelves 

- Oxygen analyzer 

- Data acquisition software

- Protocol 3 controller 를 이용

 .LCD 디스플레이 

 . 별도의 센서와 High limit control 기능이 내장 

 . Data logging 기능 

 . Simple set-up and data export 기능 

 .  64 programs, 64 segments 

 . Mode : Manual , Timer, Profile mode 

 . Indicator (6 ea) 가 장비의 운전상태를 표시하여 준다. 

 . USB port 를 이용하여 Data 를 간단하게 다운 받을 수 있다. 


 

■ HEPA 필터를 이용하여 clean state 공정 열처리