VHT - Chamber Retort Furnace

VHT 모델은  Graphite, Molybdenum 또는 MoSi 발열체 등을 이용한 여러가지 종류의 발열 

방식과 다양한 부속 장치들을 공급함으로써 현장에서 요구 되어지는 최적의 전기로를 공급 한다.  

진공챔버는 10 -5 mbar 의 진공에서의 열처리와 가연성가스상에서의 열처리가 가능하다. 

수소가스 (H2 )  를 이용한 환원공정에서의 열처리 모델로도 공급이 가능하며, Safety Package 

와 같이 공급을 한다.

<발열체의 종류 >

T../GR Graphite insulation and Heating 

- 진공상태및 가스 상태에서 반응시켜야하는 공정에 적합 

-  Max vacuum : 10 ^-2 mbar

-  Tmax. : 1800℃ ~ 2200 ℃ (2400℃ option)

-  Graphite felt 내화물 

-  Type 'B' T/C up to 1800℃, Optical pyrometer 2200℃ 

VHT../MO Molybdenum insulation and Heating 

- 고진공상태, 높은 순도의 가스상태에서 반응시켜야하는 공정에 적합 

-  Max vacuum : 10 ^-5 mbar

-  Tmax. : 1600 ℃

-  Molybdenum steel sheets 내화물 

-  Type 'B' T/C up to 1800℃, Optical pyrometer 2200℃

VHT../KE MoSi 발열체와 Fiber insulation  

- 공기 또는 진공상태, 가스상태에서 반응시켜야하는 공정에 적합 

-  Max vacuum : 10 ^-2 mbar ( up to 1300℃) 

-  Tmax. : 1800 ℃  

-  High Purity Aluminum Oxide 내화물  

-  Type 'B' T/C 

** Standard **

- 내부부피 : 8, 40, 100 Liters 

- 스테인레스스틸 냉각장치

- 서비스가 편리한 프레임

- 냉각수 조절을 위한 유량계와 자동 유량조절모니터링 장치  

- H700 PLC, 10 program with 20 segments 

- 과열방지 장치 (EN 60519-2) 

- 공정용 가스(N2, Ar)와 진공기능 조절장치 

- Bypass 

- Manual gas out let

- Rotary vane pump 

- Manual gas outlet with overflow valve (20 mbar) -

- 압력게이지

- 진공이 가능한 밀폐식 Retort를 이용함으로써 반응가스나 밀폐식 가스 분위기 또는 10 -5 mbar 의  

   진공상태에서 열처리를 가능하게 한다. 

- H2 Version 은 수소나 비연소가스 상태의 열처리를 가능하게 한다. 

- 이 장비는 검증된 안전장치를 이용하여 항상 안전한 운용이 가능하며 오작동시에 즉각적인 

   Emergency  program 이 작동된다. 

** Optional Accessories **  

- Tmax. 2400 ℃  

-  2^nd gas supply kit

-  Molybdenum or carbon-fiber -carbon  retort 

-  Two stage Rotary vane pump 

-  Turbo Molecular Pump 

-  Temperature measurement with pyrometer

- Heat Exchanger 

- H3700 Graphic touch panel  

- Process control Diagram 

- Automatic gas supply 

- Automatic gas outlet 

- Automatic pre- and post- program, leak test for 안전성 검사 

- PC 콘트롤 (control)

- 2 차 가스 주입을 위한 Digital gas flow controller 

- 절대압력 또는 분압 가스 변환장치